德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

線性比例尺

集成電路4003

測量標準

線膨脹系數*

玻璃陶瓷或玻璃上的冶金光柵

αTherm？8·10–6 K–1（玻璃）

αtherm=（0±0.5）·10–6 K–1（Robax微晶玻璃）

精度等級*

？1微米（僅適用于Robax玻璃陶瓷），？3微米，？5微米

基線誤差

≤±0.275微米/10毫米

測量長度（ml）*

在毫米

240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440

2640 2840 3040（Robax微晶玻璃，多1640毫升）

質量

3 g+0.11 g/mm測量長度

掃描頭

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 m

LIC 419 P

LIC 419 Y

界面

恩達2.2

法努克

串行接口αi

三菱高速接口

松下

串行接口

安川電氣

串行接口

德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺

訂貨名稱*

EnDAT22

FANU05

MIT03-4

MIT02-2

PANA01

YEC07

測量步驟*

0.01微米（10納米）

0.005微米（5納米）

0.001微米（1納米）1）

計算時間tcal

時鐘頻率

小于5μs

小于16兆赫

-

穿越速度2）

不大于600 m/min

插值誤差

±20 nm

電氣連接*

電纜，1米或3米，帶8針M12連接器（外螺紋）或15針D形接頭（外螺紋）

電纜長度（帶海德漢電纜）

小于100米

小于50米

小于30米

小于50米

供電電壓

直流3.6伏至14伏

功耗2）（大值）

3.6伏時：≤700兆瓦

14伏時：≤800兆瓦

3.6伏時：≤850兆瓦

14伏時：≤950兆瓦

電流消耗（典型）

5伏時：75毫安

（無負載）

5 V:95毫安（無負載）

振動55赫茲至2000赫茲

沖擊6毫秒

小于等于500 m/s2（EN 60068-2-6）

小于等于1000 m/s2（EN 60068-2-27）

工作溫度

–10°C至70°C

質量掃描頭

連接電纜

連接元件

不超過18克（無電纜）

20克/米

m12聯軸節：15g；d-分接頭：32g

*訂購時請選擇

1）三菱：測量長度≤2040 mm

安川：測量長度≤1840 mm

2）見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息

Robax是德國美因茨Schott Glaswerke的注冊商標

詳見：海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺