日本AZBIL山武質量流量控制器介質說明
氣體質量流量控制器使用將*的執行器控制技術和阿自倍爾自有的微流量熱質量流量傳感器相結合的檢測單元。 
由于μF傳感器的特性，可在廣泛的流量控制范圍內實現快速響應。 
這些控制器適用于制造廠用于玻璃加工的低壓氣體，釬焊過程中的火控，以及傳統質量流量控制器無法輕易調節的其他過程。 
我們多元化的產品陣容擴大了可能的應用范圍。

日本AZBIL山武質量流量控制器介質說明
主要特點
反應快
具有非常小的熱質量的微型MEMS傳感器直接與氣體??接觸以實現快速響應。
高準確率
我們的μF傳感器隨著時間的推移幾乎不會改變其特性，確保長時間的高精度。
廣泛的產品陣容
為了滿足客戶的應用需求，有多種產品可用于測量0-5 mL / min至500 L / min的各種流量范圍。
降低壓力損失
通過在通道壁上安裝μF傳感器，可將這些儀表中的壓力損失保持在zui低水平，從而將突起和由此產生的流動阻力降至zui低。因此，它們非常適合測量和控制低壓下的氣體流量。
各種功能
我們通過開發控制設備而獲得的豐富的微型計算機技術提供了傳統質量流量計中的一系列功能。 
這些功能包括瞬時或累計流量顯示，氣體類型切換，上限和下限報警輸出，模擬量輸出，累加器脈沖輸出和通訊功能。（可用的功能取決于特定的產品。）
質量流量測量
這些儀表可以測量空氣或氣體的流量，并將其轉換為標準條件，而不管操作溫度和壓力如何。 
（換算成標準狀態的流量是1個大氣壓和0℃[或20℃]時的體積流量。）
測量范圍寬
傳統的氣體流量計在測量低流速時通常比在接近其zui大限度的流速時更難以測量。阿自倍爾專有的μF傳感器可以實現更廣泛的測量和控制。CMS系列質量流量計的可調比高達100：1，CML系列高流量質量流量計的可調比高達160：1（測量范圍為1,280：1）！ 
這些質量流量計非常適用于控制空氣或氣體消耗，并通過檢查泄漏來節省能源。

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